Model Numarası: JXA-8230
üretici: JEOL
Aksesuarlar: Spektrometre (*3), Enerji Spektrometresi (*1)
Analiz Elemanları: B-U
Çözünürlük: 3nm

Elektron probu, ince bir parçadaki mineral mikrobölgelerinin kimyasal bileşimini analiz etmek için kullanılabilen mikrobölge bileşeni analizi için elektron ışını etkisi örneklerinden sonra üretilen karakteristik röntgen ışınlarını kullanan bir alettir. H, He, Li, Be gibi birkaç hafif element dışında, U elementlerinden sonraki elementler de kalitatif ve miktarsal analizler yapılabilir. Nokta, çizgi tarama ve yüzey tarama analizi yapılabilir.

Örnek: Pil tozu EPMA yüzey dağılımı ölçüm sonuçları