VIP üyesi
Süper Yüksek Çözünürlüklü Alan Emisyon Tarama Elektron Mikroskopu SU8600 Serisi
Hızlı veri toplama ve veri işleme teknolojilerinin gelişmesiyle birlikte, elektron mikroskop sadece veri kalitesini değil, aynı zamanda toplama süreçl
Ürüntü detayları
Süper Yüksek Çözünürlüklü Alan Emisyon Tarama Elektron Mikroskopu SU8600 Serisi
Hızlı veri toplama ve veri işleme teknolojilerinin gelişmesiyle birlikte, elektron mikroskop sadece veri kalitesini değil, aynı zamanda toplama süreçlerini de değerlendiren bir çağa girdi. SU8600 serisi, Regulus 8200 serisinin yüksek kaliteli görüntüleme, büyük ışın akışı analizi ve uzun süre istikrarlı çalışma için soğuk alan görüntüleme teknolojisine sahiptir ve aynı zamanda yüksek akış ve otomatik veri elde etme yeteneğini büyük ölçüde artırır.
- *
- Cihaz fotoğrafları seçenekler içerir.
-
Özellikleri
-
Özellikler
Özellikleri
Özellikleri
Süper Yüksek Çözünürlüklü Görüntüleme
Hitachi'nin yüksek parlaklık elektronik kaynakları, ultra düşük iniş geriliminde bile ultra yüksek çözünürlüklü görüntüler sağlar.
0,8 kV gerilim koşullarında RHO tipi zeolit örneği gözlemlenmiştir. Sol resim, parçacıkların bütünlüğünün şeklidir, sağ resim büyütme görüntüsüdür ve parçacıkların yüzeyinin ince merdiven yapısı açıkça görünür. Düşük voltajlı gözlem, elektron ışını hasarını azaltmak ve yüzey şekli bilgilerini elde etmek için daha etkilidir.
Örnek sağlandı: Japonya Endüstriyel Teknoloji Genel Araştırma Enstitüsü Uemura Jiada Bay
Yüksek Kaplama Düşük Hızlandırılmış Geri Dağıtım Görüntüsü
3D NAND kesim gözlemi;
Düşük hızlanmış gerilim koşullarında, geri dağıtılmış elektronik sinyaller silikon oksit katmanı ve silikon nitrür katmanı arasındaki kaplama farkını açıkça gösterebilir.
3D NAND kesim gözlemi (Hızlandırılmış gerilim: 1.5kV)
Hızlı BSE Görüntüsü: Yeni Tip Yanıldırıcı Arka Dağıtıcı Elektron Detektörü (OCD)*
Yeni bir OCD detektörü sayesinde tarama süresi 1 saniyeden az olsa bile Fin-FET net derin yapısal görüntüleri gözlemlenebilir.
5 nano süreç SRAM iç yapı gözlemleri (Hızlandırılmış gerilim: 30kV, tarama süresi < 1 saniye)
Gelişmiş Otomasyon*
EM Flow Creator, müşterilerin sürekli görüntü toplama için otomatik iş akışları oluşturmalarını sağlar. EM Flow Creator, farklı SEM özelliklerini, büyütme oranlarını ayarlamak, örnek konumlarını hareket etmek, odak mesafesini ve aydınlık karanlık kontrastı ayarlamak gibi grafik modüller olarak tanımlar. Kullanıcılar basit bir fareyle sürükleyerek bu modülleri mantıksal bir sırada bir çalışma programı haline getirebilirler. Hata ayırtma ve onaylama sonrası, program her çağrıda yüksek kaliteli ve tekrarlanabilir görüntü verilerini otomatik olarak elde edebilir.
Esnek kullanıcı arayüzü
Yerel olarak, esnek ve verimli çalışma alanı sağlayan çift ekranı destekler. 6 kanal aynı anda görüntülenir ve kaydedilir, hızlı çoklu sinyal gözlemi ve toplama sağlar.
1, 2, 4 veya 6 kanal sinyaller aynı ekranda görüntülenebilir ve değiştirilebilir SEM detektörleri, örnek odası kameraları ve navigasyon kameraları da dahildir. Çalışma alanı iki monitör kullanarak genişletilebilir ve verimliliği artırmak için özelleştirilebilir kullanıcı arayüzü.
Özellikler
| Model | SU8600 Serisi | |
|---|---|---|
| Elektronik optik sistemler | İkinci Elektronik Çözünürlük | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| Büyütme oranı | 20 to 2,000,000 x | |
| Elektronik Silah | Soğuk alan yayım elektronik kaynağı, esnek yanıp sönme fonksiyonunu destekler ve anod pişirme sistemi içerir. | |
| Hızlandırıcı voltaj | 0.5 to 30 kV | |
| İniş voltajı | 0.01 to 20 kV | |
| Detektörler | (kısmen seçenek) | Üst Detektör (UD) |
| SE/BSE sinyal karışımı ile UD ExB enerji filtresi | ||
| Alt Detektör (LD) | ||
| Üst Detektör (TD) | ||
| TD enerji filtresi | ||
| Ayna İçindeki Arka Dağılım Elektronik Detektörü (IMD) | ||
| Yarı iletken arka dağılım elektronik detektörü (PD-BSED) | ||
| Yeni yanıp sönen vücut modu arka dağılım elektronik detektörü (OCD) | ||
| Katod Floresans Detektörü (CLD) | ||
| STEM Detektörü (STEM Detector) | ||
| Eklentiler | (kısmen seçenek) | Navigasyon kamerası, örnek odası kamerası, röntgen ışını enerji spektrometri (EDS), geri dağılım elektron difraksiyon detektörü (EBSD) |
| Yazılım | (kısmen seçenek) | EM Flow Creator, HD Capture (en fazla 40.960 x 30.720 piksel) |
| Örnek Masası | Motor tahrik ekseni | 5 eksenli motor sürücüsü (X/Y/R/Z/T) |
| Motor tahrik ekseni | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| Örnek Odası | Örnek Boyutu | Maksimum çap: 150 mm |
- *
- Yavaşlama modunda
İlgili Ürün Kategorileri
- Odaklama İyon ışını sistemi (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM Örnek Ön İşleme Cihazı
Çevrimiçi soruşturma
-
Kontaktlar
-
Şirketi
-
Telefon
-
E-posta
-
WeChat
-
Kontrol Kodu
-
Mesaj İçindeki
-