1Teknik Özellikler

lYüksek büyütmeli çift gözlü çift görme alanı mikroskopu ve22İnç geniş ekran LCD ekranı aynı zamanda hizalama sürecini izler ve sağlarUSBÇıkış; Hem yüksek hassasiyetli ayarlama hem de maruz sonuçları tespit etmek için kullanılabilir, maruz sonuçları ve kolay depolama

lTers aydınlatma ile, cıva lambasının değiştirilmesi daha kolay, ısı soğutma ve sızıntıya dayanıklı ışık daha iyi

lHizalama ve maruz tutma çift istasyonlu çalışma, çift istasyonlu otomatik geçiş

lGömülü Bilgisayar Kullanımı+Dokunmatik ekran çalışması, daha kolay ve daha şık

lYükleme, sürüm çok kolaydır, yüksek otomasyon derecesi, kullanımı kolaydır. Üniversiteler için bilimsel araştırma (iyi güvenilirlik, kolay gösterme) ve fabrika(Yüksek verimlilik)Özellikle uygundur.

2Teknik parametreler

lEkspozisyon Alanı:100mm×100mm(yükseltilebilir)6inç)

lEkspozisyon dalga uzunluğu:365nm

lÇözünürlük:≤1mm(Kalınlık1.5 mmYapışkan)

lDoğruluk:±0.6mm

lMikroskop Tarama Masası Hareket Aralığı:X：10mm;Y:10mm

lMaske Boyutu:2.5inç,3inç,4inç,5İnç

lÖrnek boyutu: çapf15mm--f100mm(Çeşitli düzensiz filmler)

Kalınlık0.1mm--6mm

lMaruz kalma yöntemi: Zamanlama (geri sayma yöntemi) ve doz belirleme

lVakum temas maruz kalması, sert temas maruz kalmasıIşıkBasınç teması ve yakın maruz kalma 4 fonksiyonu

lAydınlatma Eşitsizliği: 3%（f100mmkapsamı)

lİki gözlü çift görme alanı hizalama mikroskopu: her iki gözlükten geçebilirGörselUygulama, geçebilirCCD+Ekran hizalaması, optik fotoğraf, optik maksimum çarpıcı400Kat, optik+Elektronik Büyütme800Kat

Objektif üç çift:4katı,10katı,20Kat

Gözlük üç çift:10katı,16katı,20Kat

lDüzelleştirilen temas basıncı, sensör tarafından tekrarlanmayı sağlar

lDijital ayarlar hizalama boşlukları ve boşluklar

lBaskı modülü arayüzü ve yakın modül arayüzü

lÖrnek hareketine göre maske:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaksimum yoğunluk:400mm（SU8Yapıştırıcı, kullanıcı tarafından sağlanan test koşulları)

lIşık kaynağı paralelliği:3?

lMaruz Enerji Yoğunluğu:>25mW/cm2,Aydınlatma sıcaklığı<35?C

lTek katmanlı maruz kalma bir tıklama tamamlandı

lToplu Yüzme Kullanımı+Üç pençe düz bul

lÇeva lambası gücü:350W(Düz akım,İthalat）

3Boyutları:1400mm(Uzun)?900mm(Genişlik)?1500mm(Yüksek)

4Konfigurasyon

（1(Açıklama kafası)

lSoğuk ışık elipskopu

l350Wİthalat DC Yüksek Basınçlı Çeva Lambaları(Almanya Osram)

lXYZÇeva lambası düzenleyici

lSoğutma Fanı

lOptik sistem: Sabit ışık çubuğu, değişken ışık çubuğu, shutter, doğrudan ayna1Doğrudan ayna2Sinek gözü lensleri (79bir lens),iFiltreler, Alan Aynaları, Soğuk Işık Yansıtıcıları1Yansıtıcı ayna2

（2(İş yeri hizalama)

lIşık gravür tabanı

lİstasyon Değiştirme Masası (Silindir)

lMaske örneği genel spor masası

lMaske Örneği Karşılıklı Spor Masası

lDönüş Masası

lÖrnek düzenleme kurumu,3 Otomatik Tamamlama

lÖrnek odaklama mekanizması, motor otomatik ayarlama

lBase çekme yukarı aşağı mekanizması

lStüdyo4Bir:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(Kullanıcı taleplerine göre azaltabilir)

lMaske Klipsi4Bir:2.5inç,3inç,4inç,5İnç (kullanıcı isteğine göre artırılabilir)

lÖrnek çekme yukarı aşağı mekanizması

（3(Mikroskop Uygulama)

lIşık kaynağı, Güç kaynağı

lİki gözlü çift görme alanı hizalama mikroskopu

lGözlükler3Doğru.10katı,16katı,20Kat, toplam6bir)

lNesneler3Doğru.4katı,10katı,20Kat, toplam6bir)

lCCDUygulama sistemi,22inç LCD monitör

（4(Elektronik Kontrol Sistemi)

lGüç kaynağı tetikleyen cıva lambası(350WDC Cıva Lambaları)

lTek Chip Kontrol Sistemi

lKontrol Paneli

lKontrol Masası

（5Pneumatik Sistem

lSilindirler, magnetik valfler, basınç azaltıcı valfler, pnevmatik anahtarlar vb.

lElektromagnetik valf sürücüsü

lPneumatik cihazlar

（6(Diğer eklentiler)

lBir vakum pompası

lBir hava kompresörü

lDestek Arayüzü Boruları

（7Teknik Bilgiler

lKullanım bakım talimatı

lÜrün Denetimi Sertifikası