• Yüksek Hassasiyet ±% 1.0 Ayar Noktası
  Bu kütle akış kontrolörünün doğrusallığı çoklu yaklaşım eğrisi ile telafi edilir ve akış kontrol aralığında yüksek hassasiyet sağlar. Gerçek gaz hassasiyetini artırmak için çeşitli işlem gazlarının kalibrasyon verileri HORIBA STEC şirketinin standart gaz ölçüm sistemleri tarafından ölçülür.
• Yüksek Hızlı Yanıt
  Değişken PID sistemi ile her iki ayar noktası arasında 1 saniye yanıt sağlanır. Değişken PID, akış noktası ayarlarına göre sürekli olarak değişir. Tam ölçekli akış ve gaz değişikliklerinde PID katsayısını optimize edin.
• Çok Gazlı / Çok Ölçülü Çözümler
  Yazılım yapılandırma özelliklerini hızlı ve kolay bir şekilde değiştirebilir. Önemli bir özellik, kütle akışı kontrolörünün gaz kontrol panelinden veya borularından çıkarılması gerekmeden değişiklikler yapılabilmektir. Gerekli yedek kütle akış kontrolörü sayısını azaltır ve zaman ve maliyet tasarrufu sağlar.

SEC-Z500X kütle akış kontrolörü çeşitli uygulamalar ve yarı iletken üretimi için uygundur.