Olympus yarı iletken/FPD inceleme mikroskopları MX63 ve MX63L, 300 mm'ye kadar wafer, düz ekran, devre kartı ve diğer büyük örneklerin yüksek kaliteli incelemeleri için optimize edilmiştir. Modüler tasarımları, sisteminizi uygulamanıza özelleştirmeniz gereken bileşenleri seçmenizi sağlar. Olympus yarı iletken/FPD inceleme mikroskopisi, Olympus akış görüntü analizi yazılımını birleştirerek, gözlemden rapor oluşturmaya kadar tüm iş akışınızı basitleştirebilir.

Sınır Analiz Araçları

MX63 serisinin çok yönlü gözlem yetenekleri net ve net görüntüler sağlar, böylece kullanıcılar örneklerdeki kusurları güvenilir bir şekilde tespit edebilir. Olympus Stream görüntü analizi yazılımındaki yeni aydınlatma teknolojileri ve görüntü toplama seçenekleri, kullanıcılara örneklerini değerlendirmek ve bulgularını belgelemek için daha fazla seçenek sunar.

Görünmez Görünür Olmak: Gözleme ve Alınma Karışımı

Karışık gözlem teknolojisi, karanlık alanları ışık alan, floresan veya polarizasyon gibi başka bir gözlem yöntemiyle birleştirerek benzersiz gözlem görüntüleri oluşturur. Karışık gözlem kullanıcıları, sıradan mikroskopla görülmeyen kusurları görebilir. Karanlık görme alanı gözlemleri için kullanılan dairesel LED aydınlatma cihazları, belirli bir zamanda yalnızca bir quadrant ışıklayan yönlü karanlık alan fonksiyonuna sahiptir. Bu, örneğin halosunu azaltır ve örneğin yüzey dokusunu görselleştirmeye yardımcı olur.

Yarı iletken çip yapısı

Yarı iletken çiplerindeki fotogravür kalıntıları

Kolayca panoramik görüntüler oluşturun: Anında MIa

Birden fazla görüntü hizalaması (MIA) ile kullanıcılar, elektrikli bir platformun gereksiz olmadığı zaman, KY düğmelerini manuel aşamada hareket ederek görüntüleri hızlı ve kolay bir şekilde birleştirebilirler. Olympus Stream yazılımı, kullanıcılara daha geniş bir bakış açısı sağlayan panoramik görüntüler oluşturmak için kalıp tanımasını kullanır.

Tüm odak görüntüleri oluştur: EFI

Olympus Akımında Genişletilmiş Odaklama Görüntüleme (EFI) özelliği, hedefin odak derinliğinin ötesine uzanan örneklerin görüntülerini yakalar ve tamamen odaklanmış bir görüntü oluşturmak için bunları bir araya getirir. EFI, manuel veya elektrikli Z ekseni ile gerçekleştirilebilir ve yapı görselleştirilmesini kolaylaştıran bir yükseklik grafiki oluşturabilir. Ayrıca, akış masaüstünde çevrimdışı olarak EFI görüntüleri de oluşturabilirsiniz.

Aydın ve karanlık alanları HDR ile yakalayın

Gelişmiş görüntü işleme ile Yüksek Dinamik Aralığı (HDR), parlaklığı azaltmak için görüntüdeki parlaklık farklarını ayarlar. HDR, dijital görüntülerin görsel kalitesini geliştirir ve böylece profesyonel raporlar oluşturmaya yardımcı olur.

Temel ölçümlerden analize kadar

Ölçümler kalite ve süreç kontrolü ve denetimi için çok önemlidir. Bunu göz önüne alınarak, giriş seviyesinde Olympus Stream paketi bile, tüm ölçüm sonuçları daha fazla belge için bir görüntü dosyasında kaydedilen tam bir etkileşimli ölçüm özelliği menüsü içerir. Ayrıca, Olympus Akım Malzeme Çözümleri karmaşık görüntü analizleri için sezgisel, iş akışı odaklı bir arayüz sağlar. Bir düğmeye tıklayarak, görüntü analizi görevleri hızlı ve doğru bir şekilde gerçekleştirilebilir. Tekrarlanan görev işleme süresinin önemli ölçüde azaldığı için, operatör el kontrolüne odaklanabilir.

Rapor oluşturma

Raporlar oluşturmak genellikle görüntü yakalamak ve ölçümlerden daha uzun sürer. Olympus Stream yazılımı, önceden tanımlanmış şablonlara göre tekrar tekrar akıllı ve karmaşık raporlar oluşturmak için sezgisel rapor oluşturmasını sağlar. Düzenleme kolaydır ve raporlar Microsoft Word veya PowerPoint yazılımına ihraç edilebilir. Ayrıca, Olympus Stream yazılımının raporlama özelliği dijital ölçeklendirme ve büyütülen görüntü alımını sağlar. Rapor dosyası, e-posta yoluyla veri değişimi kolaylaştırmak için makul bir boyuttadır.

Bağımsız kamera seçenekleri

DP22 veya DP27 mikroskop kameraları ile MX63 serisi gelişmiş bağımsız bir sistem haline geliyor. Kamera, sadece daha az alan gerektiren kompakt bir kutu ile kontrol edilebilir ve kullanıcıların laboratuvar alanından en iyi şekilde yararlanmasına yardımcı olur, aynı zamanda net görüntüler yakalayabilir ve temel ölçümler yapabilir.

Cleanroom Conformity için tasarım

MX63 serisi temiz odalarda çalışmak için tasarlanmıştır ve kirlilik veya örnek hasarı riskini azaltmaya yardımcı olur. Sistem, uzun vadeli kullanımda bile kullanıcının rahatlığına yardımcı olacak bir ergonomik tasarıma sahiptir. MX63 serisi, yarı S2/S8, CE ve UL dahil olmak üzere uluslararası spesifikasyonlara ve standartlara uygundur.

İsteğe bağlı çip yükleyici entegrasyonu - AL120 sistemi*

İsteğe bağlı çip yükleyicileri MX63 serisine bağlanabilir ve silikon ve bileşik yarı iletken çiplerini kutulu banttan mikroskop aşamasına pins veya çubuk kullanmadan aktarır. Mükemmel performans ve güvenilirlik, yükleyici laboratuvarın verimliliğini artırmaya yardımcı olurken etkili ön ve arka makro muayeneleri sağlar.

MX63, Al120 çip yükleyicisi ile birlikte (200 mm versiyonu)*E120 EMEA'da kullanılamaz.

Hızlı Temizleme Kontrolü

MX63 serisi tozsuz oda çip kontrolünü karşılıyor. Tüm mobil parçalar koruma yapısına sahiptir ve mikroskop çerçeveleri, borular, solunum kapakları ve diğer parçalara antistatik tedavi uygulanır. Mobil burun kanatlarının dönme hızı manuel burun kanatlarından daha hızlıdır, kontrol süresini azaltır ve aynı zamanda operatörün elini çipin altında tutar ve potansiyel kirliliği azaltır.

Etkili gözlem için sistem tasarımı

Yerleşmiş debriyaj ve XY düğmelerinin kombinasyonu sayesinde, XY sınıfı aynı anda kalın ve ince iki aşamada hareket edebilir. Bu aşama, 300 mm çip gibi büyük örnekler için bile gözlem verimliliğine yardımcı olur.Eğimli gözlem borularının geniş yelpazesi, operatörün mikroskop altında rahat bir pozisyonda oturmasını sağlar.

Tüm çip boyutlarını kabul et

Sistem çeşitli 150 - 200 mm ve 200 - 300 mm wafer tutucuları ve cam levhaları ile birlikte kullanılır. Çipin boyutu üretim hattında değişirse, mikroskop çerçevesi daha düşük maliyetle değiştirilebilir. MX63 serisi ile, 75 mm, 100 mm, 125 mm ve 150 mm çip üzerindeki kontrol hatlarını yerleştirmek için farklı aşamalar kullanılabilir.

Sezgisel mikroskop kontrolü: kullanımı kolay

Mikroskop ayarları kullanıcının sistem ayarlarını ayarlamasını ve yeniden oluşturmasını kolaylaştırmak için kullanımı kolaydır.

Hızlı odaklanma: Odaklama Yardımı

Odaklama yardımcılarının ışık yoluna eklenmesi, çıplak parçalar gibi düşük kontrastlı örneklere kolayca ve doğru bir şekilde odaklanabilir.

Mikroskop ayarlarını kolayca geri yükle: Kodlama donanımı

Kodlama özelliği, MX63 serisinin donanım ayarlarını Olympus Stream görüntü analizi yazılımı ile birleştirir. Gözlem yöntemleri, aydınlatma yoğunluğu ve büyütme oranları yazılım tarafından otomatik olarak kaydedilir ve ilgili görüntülerde saklanır. Ayarların kolayca tekrarlanabileceğinden, herhangi bir operatör aynı kalite kontrolünü en düşük eğitimle yapabilir.

Daha hızlı ve rahat çalışma için ergonomik kontrol

Hedefleri değiştiren ve ışığı ayarlayan kontrol cihazı mikroskobun altında yer almaktadır, bu nedenle kullanıcının odaklama düğmesini serbest bırakması veya başını gözlükten uzaklaştırması gerekmez.

Işık Yoğunluğu Yöneticisi ve Otomatik Apertur Kontrolü ile Daha Hızlı Gözlem

Normal bir mikroskop altında her gözlemcinin ışık yoğunluğunu ve diyaframını ayarlaması gerekir. MX63 serisi kullanıcıları, farklı büyütme katlananları ve gözlem yöntemleri için ışık gücünü ve diyafram koşullarını ayarlayabilirler. Bu ayarlar kolayca geri çağırılabilir ve kullanıcıların zamandan tasarruf etmelerine ve mükemmel görüntü kalitesini korumalarına yardımcı olur.

Işık Yoğunluğu Yöneticisi

Normal ışık yoğunluğu	Büyütme katını veya gözlem yöntemini değiştirdiğinizde görüntü çok parlak veya karanlık hale gelir.
Işık Yoğunluğu Yöneticisi	Büyütme çapları veya gözlem değerleri değiştirildiğinde, ışık yoğunluğu otomatik olarak mükemmel görüntüler üretmek için ayarlanır.

Otomatik açılış kontrolü

Optik ve Dijital Görüntüleme Kalitesi Kontrolü

Olympus'un yüksek kaliteli optik ve gelişmiş dijital görüntüleme yetenekleri geliştirme tarihi, mükemmel ölçüm doğruluğu sağlayan optik kalite ve mikroskop kayıtlarını kanıtlamıştır.

Mükemmel optik özellikler: dalga öncesi farklılık kontrolü

Nesnenin optik özellikleri, gözlem görüntüsünün kalitesini ve analiz sonuçlarını doğrudan etkiler. Olympus UIS2 yüksek büyütme hedefi, dalga öncesi görüntü farklılığını en aza indirmek ve güvenilir optik performans sağlamak için tasarlanmıştır.

Kötü dalga öncesi iyi dalga öncesi (UIS2 hedefi)

Tutarlı renk sıcaklığı: Yüksek yoğunluklu beyaz LED aydınlatma

MX63 serisi, yansıtıcı ve geçirimli aydınlatma için yüksek yoğunluklu beyaz LED ışık kaynağı kullanır. LED, güvenilir görüntü kalitesi ve renk yeniden yaratılmasını sağlamak için yoğunluğuna bakılmaksızın tutarlı bir renk sıcaklığını korur. LED sistemi, malzeme bilimi uygulamalarına uygun olan yüksek verimli ve uzun ömürlü aydınlatma malzemeleri sağlar.

Doğru ölçüm: Otomatik kalibrasyon

Dijital mikroskop gibi, Olympus Stream yazılımı kullanıldığında otomatik kalibrasyon mevcuttur. Otomatik kalibrasyon, kalibrasyon esnasında insan yapımı değişkenliği ortadan kaldırmaya yardımcı olur ve böylece daha güvenilir ölçümlere yol açar. Otomatik kalibrasyon, birçok ölçüm noktasının ortalamalarından doğru kalibrasyon algoritmasını otomatik olarak hesaplar. Bu, farklı operatörler tarafından getirilen farklılıkları en aza indirir ve düzenli doğrulamaların güvenilirliğini arttıran tutarlı bir doğruluğu korur.

Tamamen net görüntüler: Gölge düzeltmesi

Olympus Stream yazılımı, görüntü köşelerindeki gölgelere uyum sağlamak için gölge düzeltmesi ile özelleştirilir. Yoğunluk eşiği ayarları ile birlikte kullanıldığında gölge düzeltmesi daha doğru bir analiz sağlar.

Yarı iletken çip (İkili değerli görüntü)

Tamamen özelleştirilebilir

MX63 serisinin amacı, müşterilerin bireysel muayene ve uygulama ihtiyaçlarına uygun çeşitli optik bileşenleri seçebilmelerini sağlamaktır. Sistem tüm gözlem yöntemlerini kullanabilir. Kullanıcılar ayrıca, kişisel görüntü toplama ve analiz ihtiyaçlarını karşılamak için çeşitli Olympus Stream görüntü analizi paketlerinden de seçim yapabilirler.

İki sistem farklı örnek boyutlarına uyum sağlar

MX63 sistemi 200 mm'ye kadar çipleri barındırabilir, MX63L sistemi ise MX63 sistemi ile aynı küçük ayak izi olan 300 mm'ye kadar çipleri işleyebilir. Modüler tasarım, özel ihtiyaçlarınıza göre mikroskopu özelleştirmenizi sağlar.

Kızılötesi Uyumluluk

Kızılötesi nesneler kızılötesi nesneler kullanarak yapılabilir, bu da operatörün, kızılötesi geçiren silikon özelliklerini kullanarak, paketlenen ve PCB'ye monte edilen IC cipinin içini zararsız olarak tespit etmesine olanak tanır. 5X ila 100X kızılötesi hedef, yakın kızılötesi görünür dalga boyunları ile renk farkı düzeltebilir.

MX63 serisi yansıtıcı ışık mikroskoplarında kullanılmaktadır. Bu uygulamalar, endüstriyel muayene için sistem olarak kullanılan bazı yöntemlerin bir örneğidir.

Kızılötesi (IR), IC çipleri ve camdaki silikon cihazların diğer kusurlarını bulmak için kullanılır.

Kutaplanma ışığı, maddenin dokusunu ve kristalin durumunu ortaya koymak için kullanılır. Çip ve LCD yapısının incelemesine uygundur.

Diferensial Müdahale Kontrastı (DIC), küçük örneklerle görünüm farklılıklarına yardımcı olmak için kullanılır. Bu dakika manyetik kafa, sabit disk medyası ve polished çip gibi yüksek farklılıklara sahip üniversite inspections örnekleri için idealdir.

Karanlık alanlar, örneklerde küçük çizikler veya kusurları tespit etmek veya örnekleri çip gibi aynalarla tespit etmek için kullanılır. Karışık aydınlatma kullanıcıları modelleri ve renkleri görüntüleyebilir.

Floresans, özel tasarlanmış filtrelerle aydınlatıldığında ışık yayan örneklerde kullanılır. Kirlilik ve fotozentik rezistan kalıntılarını tespit etmek için kullanılır. Karışık aydınlatma, fotojenik rezistan kalıntılarını ve IC desenlerini gözlemleyebilir.

Bu gözlem tekniği LCD, plastik ve cam malzemeler gibi şeffaf örneklerde kullanılabilir. Karışık aydınlatma, filtre renklerini ve devre desenlerini gözlemleyebilir.

Olympus Yarı İletken/FPD Kontrol Mikroskopu Çözümü MX63 / MX63L Konfigurasyon Parametreleri

		MX63	MX63L
Optik Sistemler		UIS2 optik sistem (sınırsız uzaktan düzeltme)
Göster Mikro Ayna Makine Raf	Yansıtıcı aydınlatma	LED lamba, 12V100W halojen lamba, 100W kümüş lamba Aydınlatma yöntemi: Açık alan, karanlık alan Yerleşmiş elektrik açısı ışık append Gözlem yöntemleri: Açık alan, karanlık alan, farklılık müdahalesi (DIC), basit polarizasyon, floresans, kızılötesi
	Işık geçirici aydınlatma	Işık geçirici aydınlatma cihazı: MX-TILLA veya MX-TILLB - MX-TILLA :: Apens ışık NA0.5 - MX-TILLB: Apens NA0.6 Işık kaynağı: LG-PS2 (Halojen lamba 12/V100 W) Gözlem yöntemi: Açık alan, basit polarizasyon
	Odaklama	Yolculuk: 32 mm Dönüş başına ayarlama süresi: 100 μm Zui küçük ölçek: 1 μm Karın sap için tork ayarlaması için üst sınır konumlayıcısı
	Yük sınırı (Masa rafları dahil)	8 kg	15 kg
Görünüm Ça silindir	Geniş Görme Alanı (FN 22 mm)	Üçüncüsü: U-ETR4 Düz, eğimli üç gözlü: U-TTR-2 Geri dönüş: U-TR30-2, U-TR30IR (Kızılötesi Gözlem) Geri Göz: U-BI30-2 Geri çevirilmiş, eğimli gözler: U-TBI30
	Geniş Görünüm （FN 26.5 mm）	Diz, eğimli üçlü göz: MX-SWETTR spektral oranı %100: 0 veya 0: %100) Diz, eğimli üç göz: U-SWETTR spektral oranı %100: %0 veya %20: %80) Üçüncü Göz: U-SWTR-3
Objektif dönüştürücü		DIC yuvası ile açık alan altı delikli elektrik dönüştürücüsü: U-D6REMC DIC otomatik merkezlendirme yuvası ile açık alan beş delikli dönüştürücü: U-P5REMC DIC yuvası ile aydın ve karanlık alan altı delikli elektrik dönüştürücüsü: U-D6BDREMC DIC yuvası ile aydın karanlık alan beş delikli dönüştürücü: U-D5BDREMC DIC Otomatik Ortalama Yuvası ile Açık Karanlık Alan Beş Delikli Dönüştürücü: U-P5BDREMC
Taşıma İstasyonu		Yerleşmiş debriyaj sürücüsü, koaksiyel sağ sap: MX-SIC8R Yürüyüş: 210 x 210 mm Işık geçirme alanı: 189 x 189 mm Yerleşmiş debriyaj sürücüsü, koaksiyel sağ sap: MX-SIC6R2 Yolculuk: 158 x 158 mm (yansıtıcı ışık kullanımı)	Yerleşmiş debriyaj sürücüsü, koaksiyel sağ sap: MX-SIC1412R2 Yolculuk: 356 x 305 mm Işık geçirme alanı: 356 x 284 mm
Ağırlık		Yaklaşık: 35.6kg (mikroskop rafı 26kg)	Yaklaşık: 44 kg (28.5 kg mikroskop rafı)

Not: Parametre tablosunun içeriği ana parametrelerin tanıtımıdır, gerçekGöreİhtiyaçlar yapılandırılır.