PfeifferLOW-E (düşük radyasyonlu cam) üretim hattında moleküler pompalarının uygulanması
LOW-E tam adı Low Emissivity, düşük radyasyon kaplamalı camdır. Nispeten sıcak yansıtıcı cam, yeni bir enerji tasarrufu camıdır. Şu anda Low-E cam üretimi için vakum magnetron püskürtme kaplama teknolojisi (çevrimdışı yöntem) uluslararası olarak yaygın olarak kullanılır. Alman Pfeiffer şirketinin satışıMoleküler PompaBunun için başarıyla uygulanır.
İlkeCam dikey bir rafa yerleştirilir, vakum ortamına 10-1 Pa boyut sınıfına girer, uygun miktarda proses gazına (inert gaz Ar veya reaksiyon gazı O2, N2) girer ve vakum derecesini istikrarlı tutar. Hedef Ag, Si vb katoda yerleştirin ve katoda yatay yönde manyetik alana yerleştirin ve böylece magnetron hedefi oluşturun. Katod olarak magnetron hedefi ile, DC veya AC güç kaynağı ile birlikte, yüksek voltaj etkisi altında, proses gazı iyonlaşır ve plazma oluşturur. Elektronlar, elektrik ve manyetik alanların ortak etkisi altında yüksek hızlı sarmal hareketler yapar, gaz moleküllerine çarpışar ve daha fazla pozisyon ve elektron üretir; Pozitif iyonlar, elektrik alanının etkisi altında, belirli bir enerjiye ulaştıktan sonra katod hedefine çarpar ve püskürtülen hedef cam tabaka üzerinde ince bir film oluşturur. Aynı şekilde tutarlı bir membran katmanı oluşturmak için, katod hedefi cam yüzeyine yakın ileri ve geri hareket eder. Çok katmanlı bir membran elde etmek için, her bir katod cam yüzeyinde ileri ve geri hareket etmek ve belli bir membran kalınlığı oluşturmak için birden fazla katod kullanılmalıdır.
PFEIFFER, 120 yıldan fazla vakum üretim deneyimi ve dünya çapında satış sonrası hizmet ve teknik desteği ile LOW-E pazarındaki müşterilerinin tercihini kazandı. VON ARDENNE en tipik müşteridir. PFEIFFERMoleküler PompaLOE-E üretim hattı Sinyi cam, Güney cam ve diğer Çin cam üretim devleri kullanılır.
PfeifferMoleküler PompaAvantajları:
- Müşterilerin seçimi için çok pompalama hızı, 1000 ila 2000 L / S arasında pompalama hızı
- H için2, Ar ve CF4Yüksek pompalama hızı var.
- Montaj konumu 0 ila 90 derece, 90 ila 180 derece
- Yüksek gaz akışı, Ar, CF bile4
- Entegre TC 1200 sürücü ünitesi doğrudan güç kaynağına bağlanır
- Seçim için korozyona dayanıklılık
- Zengin arayüz: RS-485 ve uzaktan kumanda; Profibus veya Devicenet seçeneği
- IP 54 ve Semi S2 sınıfları
- Stabil ve güvenli rotor rulman sistemi
- UL, CSA ve TUV sertifikalarına uygun
- Kolay kurulum