ICP aletlerinin bakım amacı:
1) cihazın bozukluğunu zamanında tespit etmek;
2) cihaz tehlikelerini araştırmak, zamanında tespit etmek ve önlem önlemleri önermek;
3) alet bakımı yoluyla aletin hassasiyetini artırmak ve aletin hizmet ömrünü uzatmak;
4) Test verilerinin doğruluğunu sağlamak için aletin istikrarını artırmak;
ICP aletlerinin bakımı:
1) Tüm devre kartları, fanlar ve aletlerin yüzey tozlarını temizleyin
2) Atomizatörü, atomizasyon odasını, ışık konusunu ve işalet borusunu temizleyin
3) Soğutma döngüsü suyu değiştirin, boru temizleyin
4) Vakum boru bağlantısı, elektromanyetik valf anahtarı sızdırmazlık denetimi ışın ışını yarık konumunu ayarlamak
5) Vakum pompası performansı denetimi, pompa yağı, sızdırmazlık halkaları, moleküler tarama değiştirme
6) Gaz silindiri ile ICP arasında sızıntı olmadığını kontrol edin, devre uyumluluğu belirlenir
7) Alet gazı, gaz sensörü, temizleme kontrol
8) RF yüksek frekans jeneratör toz temizleme bakımı, vakum odası bakımı
9) Kullanıcının sorunlarını çözmek