Safir serisi basınç sensörü safir monokristal yalıtıcı elemanlardan oluşur, sertlik gecikme, yorgunluk ve solucan olamaz; Safir çok iyi esneklik ve yalıtım özelliklerine sahiptir (1000 ° C'nin altında), sıcaklık değişikliklerine duyarlı değildir ve yüksek sıcaklıklarda bile iyi çalışma özelliklerine sahiptir. zaferin radyasyona dayanıklı özellikleri son derece güçlüdür; Silikon-zafer sensörü, silikon uzatma teknolojisini kullanarak zafer film üzerinde bir silikon film katmanı büyütür, daha sonra silikon köprü yolunu oluşturmak için fotogravür işlemi kullanır ve stres direnci oluşturmak için ağır doping işlemi kullanır. Zaferin üzerinde büyüyen silikon köprü yolu, radyasyona duyarlı olmayan p-N bölümleri yoktur ve bağlantı sıcaklığının üst sınırından etkilenmeden daha yüksek sıcaklık ölçüm ürünleri üretebilir. Ağır doping işlemi silikon köprüsünün yüksek sıcaklıklarda iki kez kirliliğini azaltabilir. Böylece zafer çeşitli karmaşık iş koşullarında ve çevresel durumlarda uygulanabilir. Sensörler çift film yapısına sahiptir: Çift film yapısı ürünleri titanyum alaşımlı ölçüm ve alım membranlarından oluşur. Alıcı film, titanyum alaşımlı film üzerinde yüksek sıcaklıkta eriyen safir film filmidir. Ölçüm filmi ile alıcı film arasında metal sert bağlantı kullanılır ve eriyen kaynak veya lazer kaynak ile birbirine bağlanır. Ölçülen basınç alıcı membrana aktarılır. Basıncın etkisi altında, titanyum alaşımı kabul eden film, silikon-safir duyarlı bileşenleri tarafından algılanan deformasyon üretir, köprü çıkışı değişir ve değişikliğin büyüklüğü ölçülen basınca doğru orantılıdır. Köprü devresi, köprünün dengesizlik sinyalini voltaj sinyaline dönüştürür.

◆ Geniş sıcaklık ölçüm aralığı

• Sıcaklık hatası çok az

◆ Yüksek hassasiyet, yüksek istikrar

◆ Hafif, yüksek maliyet oranı