Atonarp Süreç Kontrol Kütle Spektrometresi Aston ™ Teknik Özellikler:

Gerçek zamanlı süreç kontrolü için evrensel araçlar, korozyona dayanıklı gazlar, kondensasyona dayanıklı
Yarı iletken üretimi için in situ moleküler analiz platformu, gerçek zamanlı, işlenebilir veriler sağlar
Plazma iyonasyon kaynağı, tel olmadan, daha dayanıklı
Büyük seri üretim araçlarıyla tamamen entegre edilebilir
Aston ™ Proses kütle spektrumu analizörüGüçlü bir platform olarak, çeşitli geleneksel aletlerin yerini alabilir ve fotogravür, elektrik ve iletken etme ve birikme, oda temizliği, oda eşleştirme ve çözme dahil olmak üzere benzeri görülmemiş bir kontrol seviyesi sağlar.

Aston ™ Proses kütle spektrumu analizörüTeknik parametreler

Atonarp Aston™ Uygulama: Yarı iletken süreç kontrolü ve optimizasyonunda önemli gelişmeler, yarı iletken üretim süreçlerinin verimliliğini, verimliliğini ve verimliliğini artırmak
Aston ™ Yarı iletken üretimi ve endüstriyel süreç kontrol uygulamalarında gaz izleme ve kontrolü için yeni tasarlanmış, dayanıklı ve kompakt bir çevrimiçi kütle spektrometridir. Yüksek miktarlı hassasiyet ve gerçek zamanlı, üretim sağlamlığı ve güvenilirliği ile birleştirilir, örneğin yarı iletken kuru pompası egzoz algılama analizi, çevrimiçi izleme ve teşhis.
CVD / ALD: Oksit-Nitrüt Geçişi ve Bileşen Analizi
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: İzleyici molekülleri tanımlamak


Daha fazla bilgiye ihtiyacınız varsaAtonarp Aston ™ Çevrimiçi kütle spektrometriDaha fazla bilgi veya tartışma için lütfen aşağıdaki iletişim bilgilerine bakın:
Şanghay: Bayan Ye Tayvan: Bayan Wang
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( WeChat 同号 ) M: +886-939-653-958

Şimdiki bazı markalar ciddi işbirliği ajanları, istekli kişiler Şanghay Betong Ye Bayan 1391-883-7267 ile iletişime geçmek hoş geldiniz
Tüm Telif Hakları Saklıdır, Şanghay!