8 inç Olympus Wafer Kontrol Sistemi Özellikleri

● Geniş adaptasyon aralığı, esnek, 8 inç Olympus wafer kontrol sistemi yüksek pratiklik ve yüksek güvenilirliğe sahiptir.

● 8 inç Olympus wafer kontrol sistemi çeşitli boyutlardaki silikon fişleri taşır

Silikon plakaların boyutlarına dayanarak, AL120 serisi tabak inceleme sistemleri, tek 200mm (AL120-L8), 150mm ve 200mm uyumlu (AL120-L86), tek 150mm veya daha az boyutlarda (AL120-L6) 3 temel modele sahiptir. Her biri zaten mikroskop incelemesi için silikon parçalarını iletmek için tasarlanmıştır. Hem ön makro hem de arka makro muayeneleri çeşitli boyutlarda silikon fişleri ile uygulanabilir.

● 8 inç Olympus wafer kontrol sistemi, 90um'a kadar ince silikon fişleri aktarabilir

Daha zor ultra ince silikon fişleri ile başa çıkmak için, Olympus Wafer Inspection Sistemi, 25 adet 200 mm kutu ve 90um'a kadar ince silikon fişleri ile başa çıkmak ve güvenli iletim ve mikroskop muayenelerini tamamlamak için özel olarak tasarlanmıştır. Panel üzerinden 10 farklı kalınlıktaki silikon bilgisi önceden ayarlanabilir.

● Hassas yetenek, makro kontrol fonksiyonunu artırmak

Makro muayene özelliğine sahip yeni makine (LMB tipi), silikon parçalarının her tarafının makro muayenesini tamamlamak için 360 derece otomatik olarak dönüyor. Bu tasarım, silikon levhalarının olumlu ve karşı taraflarındaki kusurları ve parçacıkları kolayca keşfedebilir. Ayrıca, silikon tabakası 30 derece eğilmek için bir sallayıcı kullanarak makro muayene yapılabilir.

● Hassasiyet ve kullanım kolaylığı sağlayan LCD ekran

LCD ekran, operatörlere daha sezgisel bir görsel hissi sağlar ve Olympus Wafer Inspection Sisteminin öğeleri ve sırasını incelemesini ve yükleme ve hata açma için gerekli ayarları bir bakışta açık hale getirir. Operatörün girdiği makro ve mikro hata işaretleri dahil olmak üzere kontrol sonuçları, operatörün gözden geçirmesini kolaylaştırmak için LCD ekranda görüntülenebilir.

• Hassas güvenilirlik

Silikon fişlerin güvenliği için, AL120 serisi tabak inceleme sistemleri iki yeni silikon fiş tespit yöntemini kullanır: silikon fişlerinin kalınlığı ve fiş kutusundaki konumu. Aktarmadan önce silikon parçasının kutudaki yerini tarayın. İsteğe bağlı taşıma masası otomatik kilitleme fonksiyonu, silikon fişlerin vakumlu taşıma masasına aktarılmasının güvenliğini artırır.

Güçlü ve güvenilir mikroskop

Olympus yarı iletken inceleme mikroskopu MX61, farklı gözlem yöntemleri ile yüksek çözünürlüklü ve yüksek çözünürlüklü görüntüler sunabilir: açık alan, karanlık alan, farklı müdahale, kızılötesi ve derin ultraviyole. Elektrikli objektif dönüş diski ile donatılmış, mikroskop ana makinesinin açısı ile bağlantı fonksiyonuna sahiptir, her objektif değişikliğinde açısı da otomatik olarak değişir.

SEMI S2/S8 ve RoHS standartlarına uygun

AL120 serisi wafer kontrol sistemi, yalnızca iletiminde silikon parçalarının güvenliğine önem vermekle kalmaz, aynı zamanda SEMI'nin S2 ve S8 standartlarına tam olarak uymak ve aynı zamanda Rohs standartlarına uymak üzere operatörün güvenliğini de sağlar.

8 inç Olympus Wafer Kontrol Sistemi Teknik Özellikleri